超純水|半導体で必須なアイテム!!

超純水とは、水に溶け込む酸素やミネラル等の水中の不純物を極限まで除去し、抵抗率１０ＭΩ・ｃｍ以上の(一般的には)極めて純度の高い水のこと。
純水では対象外であった微粒子や酸素などのガスも、検出不可能なまでに除去しつくし、純度100%の理論上のH2Oに限りなく近い。
超純水は半導体製造工場や液晶製造工場においてなくてはならない必須のアイテムである。半導体や液晶の製造過程においてウェハーやガラス基盤の洗浄に欠かせないのである。特に半導体の製造のウェハーやデバイス製造工場で必要とする超純水水質は、不純物が極限までに除去されている。

「逆浸透膜ろ過」とは逆浸透膜という水を通し、イオンや塩類など水以外の不純物は透過しない性質を持つ膜のことで水中の有機物分子までも取り除くことが出来るろ過方法で、他のろ過方法と比べて格段に水の純度が上がる。この膜のことを通称、RO膜とも呼ばれている。ＲＯ膜は水中に含まれる全ての物質をその膜に開いている穴の大きさに合わせてとり、RO水は、RO膜という逆浸透膜を高圧で水を通過させることで、水中のイオンを除去する装置から得た品質の良い水。半導体製造過程などで洗浄に用いられる超純水は十分な品質管理のもと使用される。ただ、純度の高い水の方がより飲料用として適しているかというとそのようなことはありません。